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简述高纯笑气的特点及作用

发布时间:2021-07-26来源:洛阳华普高纯气体点击:381

  简述高纯笑气的特点及作用

  高纯笑气在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。笑气在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。

高纯笑气

  显像管制造中要求笑气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统需要先用高纯笑气置换,再用高纯氦置换。笑气是难液化的气体,在很低温下会液化成无色液体,进一步降低温度时,更会形成白色晶状固体。在生产中,通常采用黑色钢瓶盛放。

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