高纯氯气在微电子工业中的应用

　　微电子工业的半导体器件和大规模集成电路的可靠性，在很大程度上取决于半导体表面的热氧化、等离子蚀刻、晶体生长等技术，而这些工艺过程则需使用高纯氯气，氯气质量的好坏会直接影响电子元器件的质量。

　　二氧化硅中的Na*是造成硅平面元件和MOS器件性能不稳定的主要原因。若在干氧化时掺入适量的高纯氯气，就能有效地消除Na，从而大大改善MOS器件的电性能。用氯气进行二氧化硅的热氧化和蚀刻是美国材料检验学会标准中规定的方法。

　　洛阳华普气体科技有限公司作为地区专 业的高纯氯气气体产品研发供应机构，公司生产的各种不同类型的高纯氦气、高纯氧气、高纯笑气等产品不仅质量上乘，而且产品纯度高，各种不同纯度类型的产品都有，在实际的工业生产领域中有着广泛的应用，深受广大需求厂家的好评，值得信赖，欢迎前来选购。